亲爱的研友该休息了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整的填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!身体可是革命的本钱,早点休息,好梦!

Metrology-class EUV light source based on broadband emission from copper-target laser produced plasma

极紫外光刻 宽带 等离子体 激光器 计量学 极端紫外线 光源 光学 材料科学 光电子学 物理 冶金 量子力学
作者
Seth L. Cousin,Feng Dong,Matt Hettermann,Dave Houser,Patrick Naulleau
标识
DOI:10.1364/euvxray.2024.etu6a.2
摘要

The performance and characteristics of our broadband EUV source derived from copper-based laser produced plasma, currently in use in our EUV reflectometer and EUV Scatterometry tools are presented for the first time in this submission

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
pamela完成签到 ,获得积分10
6秒前
寻道图强举报chenyuns求助涉嫌违规
10秒前
ding应助KSDalton采纳,获得10
13秒前
我cr发布了新的文献求助20
22秒前
27秒前
KSung完成签到 ,获得积分10
29秒前
Luis应助XL神放采纳,获得10
30秒前
tutulucky发布了新的文献求助10
41秒前
Sherlock完成签到,获得积分10
43秒前
44秒前
Z2完成签到 ,获得积分10
49秒前
49秒前
纬宇完成签到,获得积分10
52秒前
53秒前
Umair发布了新的文献求助10
54秒前
田様应助科研通管家采纳,获得10
58秒前
kento应助科研通管家采纳,获得50
58秒前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
59秒前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
59秒前
59秒前
Akim应助科研通管家采纳,获得10
59秒前
1分钟前
mushanes完成签到 ,获得积分10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
1分钟前
脑洞疼应助Hey采纳,获得10
1分钟前
kerry完成签到,获得积分20
1分钟前
上官若男应助碎片采纳,获得10
1分钟前
收集快乐完成签到 ,获得积分10
1分钟前
1分钟前
zhangyt完成签到 ,获得积分10
1分钟前
毓香谷的春天完成签到 ,获得积分10
1分钟前
研友_闾丘枫完成签到 ,获得积分10
1分钟前
1分钟前
碎片完成签到,获得积分10
1分钟前
碎片发布了新的文献求助10
2分钟前
2分钟前
2分钟前
2分钟前
高分求助中
中国国际图书贸易总公司40周年纪念文集 大事记1949-1987 2000
TM 5-855-1(Fundamentals of protective design for conventional weapons) 1000
草地生态学 880
Threaded Harmony: A Sustainable Approach to Fashion 799
Basic Modern Theory of Linear Complex Analytic 𝑞-Difference Equations 510
Queer Politics in Times of New Authoritarianisms: Popular Culture in South Asia 500
Livre et militantisme : La Cité éditeur 1958-1967 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3059494
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2715468
关于积分的说明 7445168
捐赠科研通 2360984
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1251082
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 607698
版权声明 596448