Robust ultrablack film deposited on large-curvature magnesium alloy by atomic layer deposition

原子层沉积 材料科学 镁合金 图层(电子) 沉积(地质) 腐蚀 合金 冶金 吸收(声学) 磨损(机械) 薄膜 复合材料 纳米技术 古生物学 沉积物 生物
作者
Jianfei Jin,Lin Lv,Lu Yan,Ying Li,Yunzhen Cao
出处
期刊:Journal of vacuum science & technology [American Vacuum Society]
卷期号:42 (3) 被引量:1
标识
DOI:10.1116/6.0003305
摘要

A broadband absorber composed of a TiAlC/SiO2 film stack prepared by atomic layer deposition was presented, which could be uniformly coated on magnesium alloys with large curvature, achieving an average absorption as high as 99.4% within the wavelength range from 400 to 1000 nm. An Al2O3/TiO2 interlayer was deposited on magnesium alloys prior to the deposition of ultrablack films, which effectively prevented corrosion of magnesium caused by Al3+ and Cl− by-products in the TiAlC film. With the presence of this interlayer, the ultrablack film on the surface of the magnesium alloy exhibited good adhesion and abrasion resistance. Furthermore, after undergoing damp heat and thermal cycling tests, the absorptions of the ultrablack film-coated magnesium alloys remained at 99.1% and 99.0%, respectively, which indicated that the film is promising for application in precision optics under harsh environmental conditions.
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