MEMS-on-PIC: a cross-platform approach to combine ultra-low-power MEMS-modulators with photonic integrated circuits

微电子机械系统 光子学 电子工程 光子集成电路 电子线路 低功耗电子学 功率(物理) 集成电路 计算机科学 材料科学 电气工程 工程类 光电子学 物理 功率消耗 量子力学
作者
Martin Blasl,Meysam Namdari,Maximilian Wagner,Jan Grahmann
标识
DOI:10.1117/12.3013649
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