High-sensitivity humidity and temperature sensor by cascading a polyimide coated long period fiber grating and a polydimethylsiloxane wrapped Mach–Zehnder interferometer

材料科学 聚酰亚胺 马赫-曾德尔干涉仪 干涉测量 聚二甲基硅氧烷 光学 栅栏 灵敏度(控制系统) 湿度 光电子学 复合材料 气象学 物理 电子工程 工程类 图层(电子)
作者
Wenbo Jiang,Simei Sun,Jiao Song,Jiawei Gao,Chuanju Hu,Li Li,Longfeng Deng,Fulin Chen
出处
期刊:Review of Scientific Instruments [American Institute of Physics]
卷期号:94 (12) 被引量:9
标识
DOI:10.1063/5.0163910
摘要

Two different structures, long period fiber grating (LPFG) and a Mach–Zehnder interferometer (MZI), were cascaded to fabricate a sensor for sensing humidity and temperature simultaneously. Due to the humidity sensitive characteristic of polyimide (PI) and the temperature sensitive characteristic of polydimethylsiloxane (PDMS), the LPFG was coated with PI and the MZI was wrapped in PDMS to improve the humidity and temperature sensitivities, respectively. Humidity and temperature experiments and the stability and repeatability of the proposed sensors were performed. The sensor shows humidity and temperature sensitivities of ∼164 pm/%RH and 183 pm/°C in the humidity and temperature increasing experiments, respectively. Combining increasing, decreasing, and repeatable experiments of temperature and humidity, the proposed sensor shows stable performance in humidity sensitivity of ∼159 pm/%RH and temperature sensitivity of ∼175 pm/°C, with good linearity of ∼0.994. The structure of the proposed sensor has the advantages of low implementation cost, easy fabrication, and good stability.
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