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Hybridization of ellipsometry and energy loss spectra from XPS for bandgap and optical constants determination in SiON thin films

带隙 X射线光电子能谱椭圆偏振法薄膜材料科学折射率分析化学（期刊）摩尔吸收率电介质光学光电子学化学纳米技术物理核磁共振色谱法

作者

João Resende,D. Fuard,Delphine Le Cunff,J.H. Tortai,Bernard Pélissier

出处

期刊：Materials Chemistry and Physics [Elsevier]
日期：2020-10-30 卷期号：259: 124000-124000 被引量：8

链接

sciencedirect.com archives-ouvertes.fr cnrs.hal.science cnrs.hal.science archives-ouvertes.fr archives-ouvertes.frdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.matchemphys.2020.124000

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