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作者
Yunqian He,
Yi Yang,
Zicheng Lu,
Yuelin Wang,
Tie Li
出处
期刊:
Journal of Micromechanics and Microengineering
[IOP Publishing]
日期:2019-10-25
卷期号:30 (1): 015003-015003
被引量:4
标识
DOI:10.1088/1361-6439/ab5125
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