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Research Progress in Preparation of Optical Thin Films by PECVD
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作者
杭良毅 Hang Liangyi,
刘卫国 Liu Weiguo,
杭凌侠 Hang Lingxia,
周顺 Zhou Shun
出处
期刊:Jiguang yu guangdianzixue jinzhan
[Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics]
日期:2020-01-01
标识
DOI:10.3788/lop57.130003
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