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Improving mechanical sensor performance through larger damping

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作者
Swapan K. Roy,Vincent T. K. Sauer,Jocelyn N. Westwood‐Bachman,Anandram Venkatasubramanian,Wayne K. Hiebert
出处
期刊:Science [American Association for the Advancement of Science (AAAS)]
卷期号:360 (6394) 被引量:67
标识
DOI:10.1126/science.aar5220
摘要

Reconsidering resonator sensing Changes in the frequency of a nanoscale mechanical resonator can be used for many sensing applications, provided that there is an adequate signal-to-noise ratio. Normally, this ratio is improved by creating resonators with higher quality factors that “ring” for longer times. Taking a cue from the approaches used in atomic force microscopy, Roy et al. show that if the thermomechanical noise of the resonator is well defined, the signal-to-noise ratio of the frequency shift can improve by lowering the quality factor. They used this approach to demonstrate temperature sensing with a double-clamped silicon beam resonator, which performed better at ambient pressures than in a vacuum. Science , this issue p. eaar5220
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