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Tunable etch resistance of channel of back‑channel‑etch IGZO-ITO thin‑film transistors

材料科学 频道(广播) 光电子学 薄膜晶体管 晶体管 纳米技术 电气工程 图层(电子) 工程类 电压
作者
Cong Peng,Chen Wang,Longlong Chen,Xifeng Li,Jianhua Zhang
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:: 161576-161576 被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2024.161576
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