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Rational design of CMUTs with annular electrodes for high ultrasonic emission via ESSE enabled stiffness adjustment

电极 材料科学 超声波传感器 刚度 生物医学工程 复合材料 光电子学 声学 化学 物理 医学 物理化学
作者
Zhikang Li,Shiwang Zhang,Yihe Zhao,Shaohui Qin,Shiyu Bai,Jiawei Yuan,Jie Li,Zixuan Li,Beibei Sun,Qi Ma,Xuan Shi,Zilong Zhao,Zheng Yuan,Hefeng Qin,Min Li,Libo Zhao
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2024-06-18 卷期号：292: 112224-112224
标识
DOI：10.1016/j.mee.2024.112224
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