微电子机械系统
蚀刻（微加工）
材料科学
薄脆饼
表面粗糙度
表面光洁度
干法蚀刻
各向同性腐蚀
缓冲氧化物腐蚀
反应离子刻蚀
石英
光电子学
纳米技术
制作
复合材料
图层（电子）
病理
医学
替代医学
作者
Hong Xue,Zichao Zhang,Jiabin Ai,Cun Li,Bo Li,Yulong Zhao,Aihua Wang
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2024.04.340
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