Polarization-insensitive ultraviolet super-oscillatory metalens doublet for large-field-of-view focusing and imaging

衍射 极化(电化学) 波长 物理 光学 极紫外光刻 紫外线 数值孔径 镜头(地质) 极端紫外线 焦距 材料科学 光电子学 化学 激光器 物理化学
作者
Tao Wang,Weijie Kong,Changtao Wang,Ling Liu,Mingbo Pu,Xiaoliang Ma,Xiong Li,Yun‐Ze Long,Xiangang Luo
标识
DOI:10.1117/12.3023234
摘要

In recent years, the super-oscillatory lens based on optical super-oscillatory phenomenon has been successfully applied to sub-diffraction focusing and imaging. However, most of the previously reported super-oscillatory lens only work in the visible and near-infrared wavelengths, and little research has been done in the ultraviolet. In this paper, a polarization-insensitive ultraviolet super-oscillatory metalens doublet is proposed. The simulation results show that sub-diffraction focusing and imaging with different incidence angles can be achieved at the ultraviolet operating wavelength of 365nm, and the full width at half maximum of the sub-diffraction foci is approximately 0.7 times of the diffraction limit. This metalens doublet has a numerical aperture of 0.4472, a focal length of 0.6896 mm, and a field of view of ±25°. The proposed polarization-insensitive ultraviolet super-oscillatory metalens doublet can be used in the fields of ultraviolet lithography and microscopic imaging.
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