Height measurement of solder bumps using two-wavelength parallel four-step phase shifting digital holography

数字全息术 全息术 相(物质) 波长 数字全息显微术 材料科学 光学 物理 量子力学
作者
H. Ishigaki,Ikuo Futamura,Takuhisa Okada,Takahiro Mamiya,Yoshio Hayasaki
出处
期刊:Applied Optics [Optica Publishing Group]
卷期号:60 (10): B8-B8 被引量:5
标识
DOI:10.1364/ao.414941
摘要

Digital holography (DH) with two wavelengths (TW) that are close to each other was applied to height measurement of solder bumps having spherical specular surfaces with diameters of 20 µ m and heights of 20 µ m . We employed the parallel phase shifting method for instantaneous image capturing, and we improved the spatial resolution of our TW-DH system having two beams with different wavelengths that traveled in opposite directions in the interferometer. It gave 74-times higher repetition and 2.4-times higher spatial resolution than those in our previous DH system based on the Fourier transform method.
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