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Characterization of Atomic Layer Deposited Al2O3/HfO2 and Ta2O5/Al2O3 Combination Stacks

材料科学 原子层沉积 表征（材料科学） 图层（电子） 纳米技术 工程物理 光电子学 工程类
作者
Minwoo Nam,Areum Kim,Keunwon Kang,Eunmi Choi,Soon-Hong Kwon,Seon Jae Lee,Sung Gyu Pyo
出处
期刊：Science of Advanced Materials [American Scientific Publishers]
日期：2016-10-01 卷期号：8 (10): 1958-1962 被引量：3
标识
DOI：10.1166/sam.2016.2854
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