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Influence of surface processing in a BCl3 plasma on the formation of ohmic contacts to AlGaN/GaN structures

欧姆接触 材料科学 等离子体 光电子学 曲面（拓扑） 纳米技术 物理 图层（电子） 几何学 量子力学 数学
作者
N. A. Andrianov,Anton Kobelev,Alexander Smirnov,Yuri Barsukov,Yu. M. Zhukov
出处
期刊：Technical Physics [Springer Nature]
日期：2017-03-01 卷期号：62 (3): 436-440 被引量：3
标识
DOI：10.1134/s1063784217030033
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