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Development of silicon and quartz based MEMS high precision accelerometers

加速度计 微电子机械系统 压阻效应 硅 石英 加速度 音叉 材料科学 振动 惯性测量装置 光电子学 压电 惯性参考系 声学 电子工程 电气工程 计算机科学 工程类 复合材料 物理 航空航天工程 经典力学 量子力学 操作系统
作者
Santiram Kal,Soumen Das
出处
期刊：Indian Journal of Pure & Applied Physics 日期：2007-04-01 卷期号：45 (4): 299-303 被引量：6
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