Theoretical analysis of retrace error in Fizeau interferometer for deformed optical flats

菲索干涉仪 光学 干涉测量 薄脆饼 天文干涉仪 计量学 光线追踪(物理) 泽尼克多项式 光路 物理 曲面(拓扑) 材料科学 波前 光电子学 数学 几何学
作者
Xiangyu Wei,Rong Shi,Feng Tang,Xiangzhao Wang
标识
DOI:10.1117/12.2626352
摘要

Laser Fizeau interferometers are widely used for surface form metrology for optics and silicon wafers. The reference beam and sample beam share a common optical path in Fizeau interferometer when measuring a non-tilted optical flat. However, in the process of measuring surface topography of a wafer, as the form of a wafer often deviates from an ideal flat, such as surface warping caused by the manufacturing process, the so-called retrace error may occur due to the violation of the common path condition. In this paper, we establish two ray tracing models that correspond to the home-built Fizeau interferometer in our lab, and find that the retrace error only occurs in the presence of optical aberrations in the interferometer. In addition, we study the effect of the variation of the wafer surface form on the retrace error by superposing different Zernike polynomials on the flat surface. Based on the simulation results, the tolerance for aberrations in the specific Fizeau interferometer is provided.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
量子星尘发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
1秒前
1秒前
2秒前
YY完成签到 ,获得积分10
3秒前
3秒前
徐进发布了新的文献求助10
6秒前
jiaolulu发布了新的文献求助10
6秒前
乐观银耳汤完成签到,获得积分10
7秒前
WJing完成签到,获得积分10
7秒前
lenetivy发布了新的文献求助20
7秒前
9秒前
linhanwenzhou发布了新的文献求助10
11秒前
yyy完成签到 ,获得积分10
11秒前
幽默的煎饼完成签到,获得积分10
11秒前
12秒前
搞怪不斜完成签到,获得积分10
12秒前
12秒前
xinxiangshicheng完成签到 ,获得积分10
13秒前
愤怒的小鸟完成签到,获得积分10
13秒前
MY完成签到,获得积分10
13秒前
顾矜应助lenetivy采纳,获得10
14秒前
自觉寒梦发布了新的文献求助10
14秒前
美好斓发布了新的文献求助10
14秒前
郑文涛完成签到,获得积分10
15秒前
JamesPei应助专注的白柏采纳,获得10
16秒前
YHY发布了新的文献求助10
18秒前
好吃发布了新的文献求助10
18秒前
拾光完成签到,获得积分10
19秒前
long完成签到 ,获得积分10
19秒前
天天向上发布了新的文献求助10
20秒前
6260完成签到,获得积分10
20秒前
pcr163应助linhanwenzhou采纳,获得50
21秒前
21秒前
酷酷元风完成签到,获得积分10
22秒前
23秒前
天才幸运鱼完成签到,获得积分10
23秒前
24秒前
24秒前
高分求助中
【提示信息,请勿应助】关于scihub 10000
Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] 3000
徐淮辽南地区新元古代叠层石及生物地层 3000
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
Handbook of Industrial Diamonds.Vol2 1100
Global Eyelash Assessment scale (GEA) 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 550
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4038368
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3576068
关于积分的说明 11374313
捐赠科研通 3305780
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1819322
邀请新用户注册赠送积分活动 892672
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 815029