Increasing EUV source efficiency via recycling of radiation power

极紫外光刻 辐射 等离子体 光学 激光器 光电子学 能量转换效率 平版印刷术 光路 功率(物理) 材料科学 极端紫外线 物理 量子力学
作者
A. Hassanein,V. Sizyuk,T. Sizyuk,K.M. Johnson
标识
DOI:10.1117/12.2297254
摘要

EUV source power is critical for advanced lithography, for achieving economical throughput performance and also for minimizing stochastic patterning effects. Power conversion efficiency can be increased by recycling plasma-scattered laser radiation and other out-of-band radiation back to the plasma via retroreflective optics. Radiation both within and outside of the collector light path can potentially be recycled. For recycling within the collector path, the system uses a diffractive collection mirror that concomitantly filters all laser and out-of-band radiation out of the EUV output. In this paper we review the optical design concept for power recycling and present preliminary plasma-physics simulation results showing a potential gain of 60% in EUV conversion efficiency.
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