Features of the structure of TiN films after irradiation with nitrogen

锡氮化钛氮气材料科学氮化物辐照钛相（物质）离子离子注入冶金复合材料图层（电子）化学物理有机化学核物理学

作者

А. З. Хамдохов,Р. Ш. Тешев,З. М. Хамдохов,В. С. Куликаускас,П. Н. Черных

出处

期刊：Surface investigation: x-ray, synchrotron and neutron techniques [Springer Nature]
日期：2013-09-01 卷期号：7 (5): 1001-1004 被引量：2

标识

DOI：10.1134/s1027451013050315

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