SIMULINK and COMSOL software application for MEMS accelerometer modeling and simulation

多物理 微电子机械系统 加速度计 软件 建模与仿真 计算机科学 MATLAB语言 有限元法 流离失所(心理学) 仿真软件 机械工程 控制工程 工程类 模拟 材料科学 心理学 光电子学 结构工程 心理治疗师 程序设计语言 操作系统
作者
Jacek Nazdrowicz
标识
DOI:10.23919/mixdes.2017.8005246
摘要

In the last few years MEMS accelerometers have achieved huge commercial success thanks to new cheap technologies of manufacturing, new materials and achievements of researches. Due to low weight and low energy consumption, microaccelerometers found wide application in many popular devices expanding their functionality. Commercial fabrication of MEMS and intensive developing require taking advantage of advanced mathematical and engineering tools for modelling and simulation. The objective of this research work is to present designing and simulation capabilities of MEMS devices with mathematical models and Finite Element Method. One of the most famous software to make such analysis is COMSOL Multiphysics. In this article MEMS accelerometer is presented with modeling and simulation processes. Results of simulations are supported with results obtained from Matlab/SIMULINK software and analyzed for displacement response for two of the most popular spring geometries - folded and straight.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
会武功的阿吉完成签到,获得积分10
1秒前
汤圆发布了新的文献求助10
1秒前
bkagyin应助迅速冬天采纳,获得10
3秒前
风清扬应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
大个应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
大模型应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
ll应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
英姑应助科研通管家采纳,获得10
3秒前
3秒前
3秒前
3秒前
3秒前
4秒前
自由初夏发布了新的文献求助10
5秒前
科研通AI5应助freedom采纳,获得10
5秒前
wanci应助明亮的香薇采纳,获得10
5秒前
优雅小霜发布了新的文献求助10
6秒前
7秒前
He完成签到,获得积分10
7秒前
7秒前
Hello应助sigla采纳,获得10
8秒前
悦耳冷松完成签到,获得积分10
8秒前
9秒前
123完成签到,获得积分10
9秒前
心信鑫完成签到 ,获得积分10
9秒前
9秒前
叶成会完成签到,获得积分10
10秒前
李健的小迷弟应助Winner2019采纳,获得10
10秒前
xiiin发布了新的文献求助20
11秒前
11秒前
科目三应助Yiyi采纳,获得10
12秒前
13秒前
FFFFcom发布了新的文献求助10
13秒前
13秒前
FashionBoy应助qx采纳,获得10
13秒前
14秒前
14秒前
14秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
14秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Cognitive Neuroscience: The Biology of the Mind 1000
Technical Brochure TB 814: LPIT applications in HV gas insulated switchgear 1000
Toward a Combinatorial Approach for the Prediction of IgG Half-Life and Clearance 500
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3970120
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3514810
关于积分的说明 11176124
捐赠科研通 3250136
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1795198
邀请新用户注册赠送积分活动 875647
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 804964