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作者

Chun-Chi Lai,Yueh Hsing Chang,Hung Ju Chien,Ming Chen Lu

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2018-04-10 卷期号：153: 267-273 被引量：6

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2018.04.005

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