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Molecular dynamics simulation of nano-polishing of single crystal silicon on non-continuous surface

抛光材料科学磨料相（物质）变形（气象学）化学机械平面化复合材料分子动力学化学计算化学有机化学

作者

Guilian Wang,Zhijian Feng,Qingchun Zheng,Bin Li,Haibo Zhou

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
日期：2020-05-25 卷期号：118: 105168-105168 被引量：18

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2020.105168

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