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Quantitative in situ synchrotron X-ray analysis of the ALD/MLD growth of transition metal dichalcogenide TiS2 ultrathin films

X射线吸收光谱法 无定形固体 退火（玻璃） 结晶 纳米晶材料 材料科学 原子层沉积 薄膜 吸收光谱法 化学工程 纳米技术 结晶学 化学物理 化学 冶金 光学 物理 工程类
作者
Ashok K. Yadav,Weiliang Ma,Petros Abi Younes,G. Ciatto,Nicolas Gauthier,E. Skopin,E. Quadrelli,Nathanaëlle Schneider,H. Renevier
出处
期刊：Nanoscale [The Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01 卷期号：16 (4): 1853-1864
链接
hal.science nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d3nr04222g
摘要
We present a quantitative X-ray absorption spectroscopy study performed in situ during the growth of ultrathin TiS 2 films by Atomic/Molecular layer deposition, exploiting insights from density functional theory calculations.
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