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Experimental study of chromium oxide thin films as an intermediate layer for Pt-based temperature sensor applications

材料科学 温度系数 退火（玻璃） 薄膜 铬 X射线光电子能谱 电阻温度计 溅射沉积 氧化物 铂金 分析化学（期刊） 溅射 光电子学 复合材料 化学工程 纳米技术 冶金 温度测量 化学 物理 工程类 量子力学 催化作用 生物化学 色谱法
作者
Manoj Kandpal,Vijay Shirhatti,Jaspreet Singh,British Ashok Sontakke,Alok Jejusaria,Satay Pal Singh Arora,Surinder Singh
出处
期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Nature]
日期：2022-09-02 被引量：4
标识
DOI：10.1007/s10854-022-08915-1
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