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Incorporation of N in p-type Zn-N-doped SnO2 films by varying N2 content in sputtering gas mixture

材料科学 溅射 兴奋剂 锌 化学工程 纳米技术 冶金 薄膜 光电子学 工程类
作者
Ho Kim Dan,Minh Khang Pham,Huu Phuc Dang,Uy Lap Quach,Anh Tuan Dao,Tran Le
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2023-03-01 卷期号：155: 107230-107230
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2022.107230
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