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Nondestructive Detection of Micropipes and Inclusions in 4H-Sic Substrate by Laser-Based Optical Surface Inspection System

材料科学 激光器 基质（水族馆） 无损检测 光电子学 复合材料 光学 地质学 医学 海洋学 物理 放射科
作者
Cheng-Gang Shao,Huiqing Chen,Desheng Wang,Daejun Chang,Xuejian Xie,Guanglei Zhong,Jiaxin Zhang,Xiufang Chen,Xianglong Yang,Xiangang Xu
标识
DOI：10.1109/sslchinaifws64644.2024.10835258
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