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Modification of Diazoquinone-Novolac Photoresist Films by the Implantation of Antimony Ions

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作者
С. Д. Бринкевич,Д. И. Бринкевич,В. С. Просолович
出处
期刊:Russian Microelectronics [Springer Nature]
卷期号:50 (1): 33-38 被引量:7
标识
DOI:10.1134/s1063739720060025

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