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Mould-Free Skin-Inspired Robust and Sensitive Flexible Pressure Sensors With Hierarchical Microstructures

材料科学 符号 电阻式触摸屏 压力传感器 计算机科学 人工智能 算法 数学 机械工程 工程类 算术 计算机视觉
作者
Chao Ma,Dong Xu,Wenfeng Liu,Tianyu Dong,Shengtao Li
出处
期刊:IEEE Electron Device Letters [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:42 (10): 1536-1539 被引量:15
标识
DOI:10.1109/led.2021.3109035
摘要

Flexible microscopic pressure sensors are important to the emerging fields of intelligent robots and advanced healthcare. However, common microstructured pressure sensors often require sophisticated mould and/or material preparation, and yield limited pressure sensing performances. In this letter, we report a facile approach to design a scalable and stretchable mould-free sensitive layer with a unique hierarchical microstructure. Inspired by natural skin, a sensitive layer with interdigitated electrodes is utilized to constructed into resistive pressure sensors, which are able to robustly detect the pressure variations with high sensitivity in a wide dynamic range (about $33\,\,kPa^{-1}$ below 5 kPa, more than $0.6\,\,kPa^{-1}$ under 108 kPa), also deliver low hysteresis (within 8%), rapid response (less than 48 ms), and ultralow operation voltage ( $10~{\mu }V$ ). We illustrate that such self-patterned high-performance pressure sensors can be applied to convert the pressure stimulus into spike-like signals in both low- and medium-pressure regimes, and are being able to clearly reveal the details of human pulse wave.
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