In situ growth of ZnO nanorods array film on the surface of ITO for low temperature detection of NOx gas

纳米棒 材料科学 氮氧化物 选择性 热液循环 润湿 再现性 工作温度 纳米结构 化学工程 原位 纳米技术 复合材料 催化作用 色谱法 燃烧 有机化学 工程类 物理 化学 热力学
作者
Xiaojuan Jin,Yilin Yan,Lecheng Tian,Jiaqi Zhang
出处
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
卷期号:142: 106522-106522 被引量:8
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2022.106522
摘要

Nitrogen oxides are one of the most harmful gases and highly toxic to human health if inhaled at moderate atmospheric concentrations or above (10–20 mmHg). Sensing NOx is one of the most challenging tasks at low temperature levels and room temperature. The ZnO nanostructures were successfully synthesized by hydrothermal method. The wettability and gas sensitivity of the ZnO nanorods array film were studied. The results show that the ZnO nanorods array film is hydrophobic by adding KCl. In addition, the ZnO nanorods array film shows a positive response to NOx. The gas sensing performance shows that the sensor response based on ZnO nanorods array film has a linear relationship with the concentration of NOx in the range of 0.1–3 ppm. It has good reproducibility and selectivity. The maximum sensitivity to NOx was obtained at an operating temperature of 120 °C. The response of the sensor is 25 when the concentration of NOx is 3 ppm.
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