Coalescence of GaAs on (001) Si nano-trenches based on three-stage epitaxial lateral overgrowth

聚结(物理) 外延 材料科学 光致发光 透射电子显微镜 光电子学 表面粗糙度 表面光洁度 化学气相沉积 砷化镓 图层(电子) 纳米技术 结晶学 光学 化学 复合材料 物理 天体生物学
作者
Yunrui He,Jun Wang,Haiyang Hu,Qi Wang,Yongqing Huang,Xiaomin Ren
出处
期刊:Applied Physics Letters [American Institute of Physics]
卷期号:106 (20) 被引量:21
标识
DOI:10.1063/1.4921621
摘要

The coalescence of selective area grown GaAs regions has been performed on patterned 1.8 μm GaAs buffer layer on Si via metal-organic chemical vapor deposition. We propose a promising method of three-stage epitaxial lateral overgrowth (ELO) to achieve uniform coalescence and flat surface. Rough surface caused by the coalescence of different growth fronts is smoothened by this method. Low root-mean-square surface roughness of 6.29 nm has been obtained on a 410-nm-thick coalesced ELO GaAs layer. Cross-sectional transmission electron microscope study shows that the coalescence of different growth fronts will induce some new dislocations. However, the coalescence-induced dislocations tend to mutually annihilate and only a small part of them reach the GaAs surface. High optical quality of the ELO GaAs layer has been confirmed by low temperature (77 K) photoluminescence measurements. This research promises a very large scale integration platform for the monolithic integration of GaAs-based device on Si.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
ypeng完成签到,获得积分10
刚刚
1秒前
一个完成签到 ,获得积分10
2秒前
啦啦啦完成签到,获得积分20
2秒前
3秒前
化学位移值完成签到 ,获得积分10
3秒前
高兴的鹤完成签到,获得积分10
4秒前
霸气的洋葱完成签到,获得积分10
4秒前
4秒前
xuan发布了新的文献求助10
4秒前
ardejiang发布了新的文献求助10
5秒前
完美世界应助凯sa采纳,获得10
5秒前
所所应助蓬莱山采纳,获得10
6秒前
吉克发布了新的文献求助20
6秒前
ussiMi完成签到 ,获得积分10
6秒前
肥羊七号完成签到 ,获得积分10
6秒前
xiaowanzi发布了新的文献求助10
7秒前
有机分子笼完成签到,获得积分20
7秒前
iamcrazyboy完成签到,获得积分10
7秒前
人生何处不相逢完成签到,获得积分10
8秒前
浪里白条完成签到,获得积分10
8秒前
yyy完成签到 ,获得积分10
8秒前
脑洞疼应助qise采纳,获得10
9秒前
9秒前
做科研的小赵完成签到,获得积分10
9秒前
星辰大海应助qxy采纳,获得20
9秒前
万能图书馆应助赵赵a采纳,获得20
10秒前
大个应助SH采纳,获得10
10秒前
尊敬雪萍发布了新的文献求助10
10秒前
佬芋头完成签到,获得积分10
10秒前
无心完成签到,获得积分10
11秒前
皓月星辰完成签到,获得积分10
11秒前
朴素易梦完成签到 ,获得积分10
12秒前
欧阳发布了新的文献求助10
12秒前
是容与呀完成签到,获得积分10
12秒前
meng发布了新的文献求助10
13秒前
JUN完成签到,获得积分10
13秒前
14秒前
zzzzz完成签到,获得积分10
14秒前
heartwithin完成签到,获得积分10
14秒前
高分求助中
Evolution 10000
Becoming: An Introduction to Jung's Concept of Individuation 600
Distribution Dependent Stochastic Differential Equations 500
A new species of Coccus (Homoptera: Coccoidea) from Malawi 500
A new species of Velataspis (Hemiptera Coccoidea Diaspididae) from tea in Assam 500
PraxisRatgeber: Mantiden: Faszinierende Lauerjäger 500
The Kinetic Nitration and Basicity of 1,2,4-Triazol-5-ones 440
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3158960
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2810082
关于积分的说明 7886047
捐赠科研通 2468944
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1314470
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 630632
版权声明 602012