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Design and Fabrication of a TR Microsystem in Ka Band with Si-Based 3D Heterogeneous Integration

微系统 制作 Ka波段 材料科学 计算机科学 光电子学 纳米技术 电信 医学 病理 替代医学
作者
F. Richard Yu,Xi Shan Guo,Siyuan Ma,Chenge Wang,Guangjian Feng,Zhiyu Wang
出处
期刊：IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-1 被引量：1
标识
DOI：10.1109/tcpmt.2024.3385319
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