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Production of vertical nanowire resonators by cryogenic-ICP–DRIE

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作者
Stephan Merzsch,Frederik Steib,Hutomo Suryo Wasisto,Andrej Stranz,P. Hinze,Thomas Weimann,Erwin Peiner,A. Waag
出处
期刊:Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Nature]
卷期号:20 (4-5): 759-767 被引量:33
标识
DOI:10.1007/s00542-013-2032-4

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