Advanced Dicing Technology for Semiconductor Wafer—Stealth Dicing

晶片切割 薄脆饼 材料科学 光电子学 晶圆级封装 半导体器件制造 半导体 晶片测试 模具准备 光学 物理
作者
Masayoshi Kumagai,Naoki Uchiyama,Etusji Ohmura,Ryuji Sugiura,Kazuhiro Atsumi,Kenshi Fukumitsu
出处
期刊:IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:20 (3): 259-265 被引量:157
标识
DOI:10.1109/tsm.2007.901849
摘要

ldquoStealth dicing (SD)rdquo was developed to solve inherent problems of a dicing process such as debris contaminants and unnecessary thermal damages on a work wafer. A completely dry process is another big advantage over other dicing methods. In SD, the laser beam power of transmissible wavelength is absorbed only around focal point in the wafer by utilizing the temperature dependence of the absorption coefficient of the wafer. The absorbed power forms a modified layer in the wafer, which functions as the origin of separation in the separation process. In this paper, we applied this method for an ultra-thin wafer. The reliability of devices that is diced by SD was confirmed.
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