The characteristic behavior of TMAH water solution for anisotropic etching on both Silicon substrate and SiO2 layer

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作者

Ping‐Hei Chen,Hsin-Yah Peng,Chia-Ming Hsieh,Minking K. Chyu

出处

期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
日期：2001-09-01 卷期号：93 (2): 132-137 被引量：85

链接

edu.twdoi.org

标识

DOI：10.1016/s0924-4247(01)00639-2

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