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Comparative study of titanium carbide films deposited by plasma-enhanced and conventional magnetron sputtering at various methane flow rates

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作者
Qi Xie,Gaowei Sun,Zhiqiang Fu,Jiajie Kang,Lina Zhu,Dingshun She,Song-sheng Lin
出处
期刊：Ceramics International [Elsevier]
日期：2023-05-08 卷期号：49 (15): 25269-25282 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2023.05.061
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