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作者
А. С. Гусев,A. O. Sultanov,A. V. Katkov,S. M. Ryndya,N. V. Siglovaya,А. Н. Клочков,Р. В. Рыжук,Н. И. Каргин,D. P. Borisenko
出处
期刊:Russian Microelectronics
[Springer Nature]
日期:2024-06-01
卷期号:53 (3): 252-259
标识
DOI:10.1134/s1063739724600304
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