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等离子体增强化学气相沉积
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作者
WEN Zhen-Li,Cao Xiao-Ning,Zhou Chun-Lan,Lei Zhao,Hailing Li,Wenjing Wang
出处
期刊:Acta Physico-chimica Sinica
[Acta Physico-Chimica Sinica & University Chemistry Editorial Office, Peking University]
日期:2011-01-01
卷期号:27 (06): 1531-1536
被引量:1
标识
DOI:10.3866/pku.whxb20110632
摘要
公司生产的管式等离子增强化学气相沉积(PECVD)
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