Modelling of discharge in a high-flow microwave plasma source (MPS)

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作者
Helena Nowakowska,M. Jasiński,J. Mizeraczyk
出处
期刊:European Physical Journal D [Springer Nature]
卷期号:67 (7) 被引量:15
标识
DOI:10.1140/epjd/e2013-30514-y

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