Amorphous silicon as a passivant for crystalline silicon

材料科学 无定形固体 非晶硅 晶体硅 纳米晶硅 单晶硅 氧化物 光电子学 纳米技术 结晶学 冶金 化学
作者
J. I. Pánkové,M. L. Tarng
出处
期刊:Applied Physics Letters [American Institute of Physics]
卷期号:34 (2): 156-157 被引量:139
标识
DOI:10.1063/1.90711
摘要

Hydrogenated amorphous silicon deposited on a p-n junction in crystalline silicon causes a two-order-of-magnitude reduction in leakage current compared to the performance of a state-of-the-art thermal oxide passivant.
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