Fabrication of arrays of tapered silicon micro-/nano-pillars by metal-assisted chemical etching and anisotropic wet etching

材料科学 逐渐变细 各向同性腐蚀 制作 干法蚀刻 薄脆饼 蚀刻(微加工) 氢氧化钾 各向异性 反应离子刻蚀 复合材料 雕刻 纳米技术 光电子学 光学 计算机图形学(图像) 物理 病理 有机化学 化学 计算机科学 替代医学 图层(电子) 医学
作者
Kazutoyo Yamada,Mitsuhiko Yamada,Hideyuki Maki,Kazuyoshi Itoh
出处
期刊:Nanotechnology [IOP Publishing]
卷期号:29 (28): 28LT01-28LT01 被引量:25
标识
DOI:10.1088/1361-6528/aac04b
摘要

Fabrication of a 2D square lattice array of intentionally tapered micro-/nano-silicon pillars by metal-assisted chemical etching (MACE) of silicon wafers is reported. The pillars are square rod shaped with the cross-sections in the range 0.2 × 0.2-0.9 × 0.9 μm2 and heights 3-7 μm. The spacing between pillars in the 2D square lattice was controlled between 0.5 and 3.0 μm. While the pillars after MACE had the high aspect ratio ∼1:5, subsequent anisotropic wet etching in potassium hydroxide solution led to 80°-89.5° tapers with smooth sidewalls. The resulting taper angle showed the relation with geometry of pillar structures; the spacing 0.5-3.0 μm led to the tapering angle 89.5°-80° for 3 and 5 μm tall pillars but 7 μm tall pillars showed no dependency between the tapering angle and the inter-pillar spacing. Such an array of silicon tapered-rods with smooth sidewalls is expected to be applicable as a mold in nanoimprinting applications.

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
pluto应助跟我说晚安采纳,获得10
刚刚
gaoxueli完成签到 ,获得积分10
刚刚
yx_cheng应助123采纳,获得10
刚刚
1秒前
潇潇声韵完成签到,获得积分10
1秒前
1秒前
大龙发布了新的文献求助10
2秒前
例外发布了新的文献求助10
2秒前
KK完成签到,获得积分10
2秒前
ZZQ完成签到,获得积分10
3秒前
李小鑫吖发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
YANG发布了新的文献求助10
3秒前
田様应助bingo采纳,获得10
4秒前
4秒前
暴躁的元灵完成签到,获得积分10
4秒前
4秒前
小巧富完成签到,获得积分10
5秒前
无限寄翠发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
6秒前
6秒前
Serena发布了新的文献求助10
6秒前
完美盼夏发布了新的文献求助10
7秒前
打打应助子初采纳,获得10
7秒前
8秒前
simon发布了新的文献求助10
8秒前
大个应助西西采纳,获得10
8秒前
hahahaha发布了新的文献求助10
8秒前
YamDaamCaa应助yar采纳,获得50
8秒前
8秒前
李小鑫吖完成签到,获得积分10
9秒前
momo完成签到,获得积分10
9秒前
瑶瑶发布了新的文献求助10
9秒前
10秒前
bkagyin应助雾影觅光采纳,获得10
10秒前
waoller1完成签到,获得积分10
10秒前
10秒前
wangxinyan990920完成签到,获得积分10
11秒前
11秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
A Preliminary Study on Correlation Between Independent Components of Facial Thermal Images and Subjective Assessment of Chronic Stress 500
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 360
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3971078
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3515742
关于积分的说明 11179305
捐赠科研通 3250852
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1795501
邀请新用户注册赠送积分活动 875868
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 805207