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TaCl5-C3H6-H2 계에서 TaC CVD 공정의 열역학 해석

催化作用 化学工程 甲烷
作者
김현미,최균,심광보,조남춘,박종규,Hyun Mi Kim,Kyoon Choi,Kwang-Bo Shim,Nam-Choon Cho,Jong-Kyoo Park
出处
期刊：Korean Journal of Materials Research [The Materials Research Society of Korea]
日期：2018-02-01 卷期号：28 (2): 75-81 被引量：1
标识
DOI：10.3740/mrsk.2018.28.2.75
摘要
This work was supported by the Korea Government(Ministry of Trade, Industry and Energy, MOTIE and Defense Acquisition Program Adminstration, DAPA) through Institute of Civil-Military Technology Cooperation.
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