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Pyroelectric and piezoelectric responses of thin AlN films epitaxy-grown on a SiC/Si substrate

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作者
С. А. Кукушкін,А. В. Осипов,O. N. Sergeeva,Д. А. Киселев,A. A. Bogomolov,А. В. Солнышкин,E. Yu. Kaptelov,С. В. Сенкевич,И. П. Пронин
出处
期刊：Physics of the Solid State [Springer Nature]
日期：2016-05-01 卷期号：58 (5): 967-970 被引量：14
标识
DOI：10.1134/s1063783416050139
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