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Comparison between SiOC Thin Film by plasma enhance chemical vapor deposition and SiO2 Thin Film by Fourier Transform Infrared Spectroscopy

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作者

Teresa Oh,Chi Kyu Choi

出处

期刊：Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
日期：2010-04-15 卷期号：56 (4): 1150-1155 被引量：196

标识

DOI：10.3938/jkps.56.1150

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