Simulation of Silicon Carbide Sputtering by a Focused Gallium Ion Beam

溅射 材料科学 碳化硅 碳化物 离子 离子束 聚焦离子束 工程物理 梁(结构) 光电子学 化学 纳米技术 薄膜 光学 物理 冶金 有机化学
作者
А. V. Rumyantsev,О. V. Podorozhniy,Р. Л. Волков,Н. И. Боргардт
出处
期刊:Semiconductors [Pleiades Publishing]
卷期号:56 (13): 487-492
标识
DOI:10.1134/s1063782622130085

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