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Defect Characterization of Advanced Packages using Novel Phase and Dark Field X-Ray Imaging

暗场显微术 表征（材料科学） 干涉测量 光学 相（物质） X射线 散射 相衬显微术 领域（数学） 对比度（视觉） 半导体 材料科学 物理 光电子学 显微镜 数学 量子力学 纯数学
作者
S. H. Lau,Sheraz Gul,Guibin Zan,D. J. Vine,Sylvia Lewis,Wenbing Yun
标识
DOI：10.31399/asm.edfa.2020-3.p018
摘要
Abstract Modified Talbot X-ray interferometry provides three contrast modes simultaneously: absorption, phase, and dark field/scattering. This article describes the powerful new imaging technique and shows how it is used to characterize various types of defects in advanced semiconductor packages.
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总排名
1#1586 nozero
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2#1177 科研小民工
435
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479
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4#700 SYLH
350
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291
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2400
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124
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9#240 毛豆
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47#50 遇上就这样吧
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49#46 一一
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