Sputter-grown c-axis-oriented PdCoO2 thin films

材料科学 薄膜 溅射 堆积 透射电子显微镜 退火(玻璃) 溅射沉积 电阻率和电导率 扫描电子显微镜 异质结 分子束外延 光电子学 图层(电子) 分析化学(期刊) 外延 复合材料 纳米技术 化学 工程类 电气工程 有机化学 色谱法
作者
T. Harada,Takuro Nagai,Makoto Oishi,Y. Masahiro
出处
期刊:Journal of Applied Physics [American Institute of Physics]
卷期号:133 (8) 被引量:1
标识
DOI:10.1063/5.0136749
摘要

Metallic delafossites, ABO2 (A = Pd or Pt), are layered oxides that are as conductive as elemental metals. The high conductivity and surface polarity make metallic delafossites fascinating electrode materials for heterostructure devices. Here, we report the successful growth of c-axis-oriented PdCoO2 thin films on Al2O3 (001) substrates by magnetron sputtering that is widely used in industries. The observation of the PdCoO2 thin films through scanning transmission electron microscopy revealed layered crystal structures. A sharp interface exhibiting a layer stacking sequence of Pd/CoO2/Al2O3 was observed clearly, similar to the interfaces obtained with other growth methods such as pulsed laser deposition and molecular beam epitaxy. This layer stacking is particularly interesting because it can induce a high work function at the interface. The in-plane resistivity of the as-grown PdCoO2 thin film was 73 μΩ cm at room temperature, which decreased to 11 μΩ cm after post-annealing. The residual resistivity ratio of the annealed thin films was approximately 2.9. The impurity phases of PdOx were observed using x-ray diffraction and scanning transmission electron microscopy. The sputtering deposition of c-axis-oriented thin films could lead to the practical application of the polar surface of PdCoO2 in semiconductor devices.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
Kevin完成签到,获得积分10
刚刚
1秒前
1秒前
1秒前
无奈行恶应助勤勤的新星采纳,获得20
2秒前
2秒前
2秒前
2秒前
坚定不一完成签到,获得积分10
3秒前
Szhou发布了新的文献求助10
3秒前
穿靴子的Caroline完成签到,获得积分10
3秒前
3秒前
3秒前
科目三应助HanQing采纳,获得10
4秒前
机械腾完成签到,获得积分10
4秒前
CodeCraft应助demonox采纳,获得10
4秒前
科研通AI2S应助demonox采纳,获得10
4秒前
科研通AI2S应助demonox采纳,获得10
4秒前
酷波er应助好叭采纳,获得10
4秒前
5秒前
5秒前
SciGPT应助偷喝汽水采纳,获得10
5秒前
5秒前
5秒前
666完成签到,获得积分10
6秒前
6秒前
研友_VZG7GZ应助zzz采纳,获得10
6秒前
6秒前
6秒前
宋晓静发布了新的文献求助10
7秒前
小小发布了新的文献求助10
7秒前
深情安青应助Mxs采纳,获得30
7秒前
南风发布了新的文献求助50
7秒前
apple发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
西瓜完成签到,获得积分10
9秒前
Aurora发布了新的文献求助10
9秒前
Decline完成签到 ,获得积分10
9秒前
记忆完成签到,获得积分10
10秒前
10秒前
高分求助中
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 700
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
Effective Learning and Mental Wellbeing 300
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3974712
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3519159
关于积分的说明 11197254
捐赠科研通 3255257
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1797724
邀请新用户注册赠送积分活动 877130
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 806132