Effect of hydrogen on the integration process of photosensitive polyimide and its feasibility in advanced packaging

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作者
Ruhan E. Ustad,Honggyun Kim,Laraib Sajjad,Vijay D. Chavan,Kyeong-Keun Choi,Deok‐kee Kim
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier]
卷期号:680: 161457-161457
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2024.161457
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