材料科学
压力(语言学)
调制(音乐)
极限抗拉强度
发光二极管
光电子学
复合材料
物理
声学
语言学
哲学
作者
Di Wen,Jiacheng Hu,Rongrong Yuan,Li Wang,Kun Cao,Rong Chen
出处
期刊:Nanoscale
[The Royal Society of Chemistry]
日期:2024-01-01
被引量:1
摘要
A stress-modulation strategy combines PEALD SiO 2 (compressive stress) and thermal ALD Al 2 O 3 (tensile stress) to achieve near-zero stress SiO 2 /Al 2 O 3 nanolaminates, enhancing barrier properties and optical transparency for encapsulated micro-LEDs.
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