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Growth and Characterization of Undoped Polysilicon Thick Layers: Revisiting an Old System

材料科学 多晶硅 电阻率和电导率 微观结构 粒度 微晶 表征(材料科学) 扩展阻力剖面 化学气相沉积 二次离子质谱法 扫描电子显微镜 复合材料 分析化学(期刊) 图层(电子) 矿物学 光电子学 纳米技术 质谱法 冶金 工程类 量子力学 化学 物理 电气工程 色谱法 薄膜晶体管
作者
Taguhi Yeghoyan,Kassem Alassaad,Véronique Soulière,Thierry Douillard,Davy Carole,Gabriel Ferro
出处
期刊:Silicon [Springer Nature]
卷期号:12 (5): 1187-1194 被引量:6
标识
DOI:10.1007/s12633-019-00209-2
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