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Roll-to-roll fabrication of large-scale polyorgansiloxane thin film with high flexibility and ultra-efficient atomic oxygen resistance

Kapton 材料科学 涂层 钝化 聚酰亚胺 制作 通量 化学气相沉积 图层(电子) 辐照 化学工程 分析化学(期刊) 纳米技术 化学 医学 替代医学 物理 病理 色谱法 核物理学 工程类
作者
Yi Li,Zhonghua Li,Detian Li,Yanchun He,Shengzhu Cao,Hu Wang,Hengjiao Gao,Hanjun HU,Ying He,Yuan Wang,Junwu Zhu
出处
期刊:Plasma Science & Technology [IOP Publishing]
卷期号:24 (6): 065505-065505 被引量:9
标识
DOI:10.1088/2058-6272/ac5f38
摘要

Abstract One of the most widely used and well-established atomic oxygen (AO) protection solutions for low Earth orbit (LEO) satellites is the deposition of protective coatings on polymeric materials. However, manufacturing extensive expanses of these coating materials with good transparency, flexibility, smoothness, ultra-thinness, and exceptional AO resistance remains a critical issue. Herein, we successfully deposited a 400 nm thick polyorgansiloxane (SiO x C y H z ) coating with high optical transparency and uniform good adherence on to a 1.2 m wide polyimide surface, by optimizing the distribution of hexamethyldisiloxane and oxygen as precursors in the roll-to-roll compatible plasma-enhanced chemical vapor deposition process. After AO irradiation with the fluence of 7.9 × 10 20 atoms·cm –2 , the erosion yield of the SiO x C y H z -coated Kapton was less than 2.30 × 10 –26 cm 3 ·atom –1 , which was less than 0.77% of that of the Kapton. It indicates that the SiO x C y H z coating can well prevent the erosion of Kapton by AO. In addition, it was also clarified that a SiO 2 passivation layer was formed on the surface of the SiO x C y H z coating during AO irradiation, which exhibited a ‘self-reinforcing’ defense mechanism. The entire preparation process of the SiO x C y H z coating was highly efficient and low-cost, and it has shown great potential for applications in LEO.

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